液体吐出ヘッドの製造方法、該製造方法により製造された液体吐出ヘッド、および微小機械装置の製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：宮崎昭夫 , 緒方雅昭 , 金田暢之 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-167760
公開番号（公開出願番号）：特開2001-047633
特許番号：特許第4510234号
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路を構成する壁部材と、前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定されるとともに、前記液流路内の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられた片持梁状の可動部材と、を有し、前記気泡を発生させることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端を前記基板と離れる方向に変位させて前記圧力を前記吐出口側に導き、前記吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記可動部材を備える前記基板を用意する工程と、光硬化性樹脂を、前記可動部材と前記基板との間の前記間隙を埋め、かつ、前記可動部材を被覆するように、スピンコートにて前記基板に塗布する工程と、前記光硬化性樹脂の少なくとも前記壁部材に相当する箇所を露光し、硬化させる工程と、前記基板を切断する工程と、前記光硬化性樹脂の未露光部を除去する工程と、をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ( 200 6.01) , B41J 2/05 ( 200 6.01)

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭58-220756
液体吐出ヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-229655 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-163051

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