特許
J-GLOBAL ID：201103046692028680
ウェーハロードポート装置のウェーハマッピング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-242432
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057204
特許番号：特許第3786827号
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のウェーハをマッピングするためのウェーハロードポート装置のウェーハマッピング方法であって、
前記ウェーハロードポート装置の合わせ板を上下移動させるサーボモータによって、キャリアの複数のスロットに対応する位置によるパターンを基礎とする信号を発生させる工程と、
前記合わせ板上の同じ高さに位置する2つの光学センサを利用して前記ウェーハのそれぞれの左側と右側から2つの光学センサタイプの信号を発生させる工程と、
前記位置によるパターンを基礎とする信号と前記光学センサタイプの信号とを利用することにより特徴抽出工程を実行する工程と、を有し、
前記特徴抽出工程は、
2つのXORゲートと1つのANDゲートとを有する特徴抽出回路を利用してウェーハのオーバラップの検知に用いられるサイドロング特徴信号及びオーバラップ特徴信号を別々に発生させるサブ工程と、
信号変換回路を利用して前記サイドロング特徴信号及び前記オーバラップ特徴信号をサイドロング信号及びオーバラップ信号へ別々に変換するサブ工程と、を有し、
前記特徴抽出工程中に前記サイドロング特徴信号と前記オーバラップ特徴信号の双方にパルスが発生したとき、前記サイドロング信号の値は1であり、前記オーバラップ信号の値は0であり、前記信号変換回路を用いてサイドロング問題を指摘し;オーバラップ問題が発生したとき、前記サイドロング信号の値は0であり、前記オーバラップ信号の値は1であり;ウェーハラッキング問題が発生したとき、前記位置によるパターンを基礎とする信号のパルスが発生し、前記2つの光学センサが対応するパルスを持たない、ことを特徴とするウェーハマッピング方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (5件)
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特開平4-107841
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カセット内ウエフア検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-009870
出願人：日立テクノエンジニアリング株式会社
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特開平4-107841
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特開平4-107841
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特開平4-345049
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