特許
J-GLOBAL ID：201103047002277840
微小ワーク片の認識方法及びそれを用いたピックアップ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091469
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286272
特許番号：特許第3488127号
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ウェーハ内のXY平面内で縦横方向に整列配置された多数の微小ワーク片を、ピッチ送りしながら画像認識する方法であって、ウェーハを順次取り替えて、その中の微小ワーク片を画像認識するにあたり、初回の画像認識で得られた良品の微小ワーク片の走査エリアを、次回以降のウェーハにおける走査エリアとする微小ワーク片の認識方法において、初回の画像認識で得られるウェーハの外周に位置する矩形状ではない形状の不良微小ワーク片を除いた、良品微小ワーク片がその中に存在する外周の内側に、微小ワーク片が欠落したり異形状の微小ワーク片があっても、上記外周の良品微小ワーク片の内側全てを次回以降のウェーハの走査エリアとすることを特徴とする微小ワーク片の認識方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
審査官引用 (3件)
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特開昭56-098835
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特開昭56-098835
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特開昭56-098835
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