特許
J-GLOBAL ID：201103047269658932
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 望稔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-237917
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059795
特許番号：特許第3803999号
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学的欠陥を検査する被検査フィルムのフィルム面の両側に被検査フィルムと平行に配置する一対の偏光子と、
この一対の偏光子間の外側に配置し、この一対の偏光子の一方の偏光子を介して被検査フィルムを投光する照明手段と、
前記一対の偏光子間の外側の、前記照明手段の配置位置の反対側に配置し、前記照明手段によって投光されて被検査フィルムから透過した透過光を他方の偏光子を介して受光する受光手段と、
2枚の電極基板間に棒状型液晶化合物であるネマティック液晶を挟持した液晶セルからなる液晶フィルターであり、被検査フィルムと前記一対の偏光子の一方の間に被検査フィルムに平行に配置する光学補償フィルターと、
前記一対の偏光子、前記光学補償フィルター及び前記被検査フィルムを平行に保持した状態で、前記照明手段が前記被検査フィルムに対して傾斜した角度で投光するように前記一対の偏光子、前記光学補償フィルター及び前記被検査フィルムを一体として自在に傾斜させる回転ステージと、を備え、
前記回転ステージを用いて投光の傾斜角度を変えることにより、前記受光手段により前記被検査フィルムから透過した被検査フィルムの欠陥部分を含む透過光の輝度信号値の傾斜角度依存性のデータを得ることを特徴とする被検査フィルムの欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01M 11/00 ( 200 6.01)
, G01N 21/958 ( 200 6.01)
, G01B 11/30 ( 200 6.01)
, G02B 5/30 ( 200 6.01)
, G02F 1/13 ( 200 6.01)
G01M 11/00 T
, G01N 21/958
, G01B 11/30 Z
, G02B 5/30
, G02F 1/13 101
