高周波誘導溶解装置用チャンバ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田岳雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-065664
公開番号（公開出願番号）：特開2001-253796
特許番号：特許第4633221号
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】円筒状のチャンバの側壁の一部に、扉により開閉可能な開口を形成すると共に、上記開口端縁を、断面形状が上記円筒と同軸の円弧をなす短絡板により電気的に接続したものにおいて、上記短絡板の両端に細長いブロック状の取付ブラケットを接続し、上記開口を形成する枠板の端縁と取付ブラケットの接触面をすり合わせ加工により精密に仕上げ、枠板と取付ブロックとを取り付けボルトで圧接することにより、接触面における電気抵抗を小さくしたことを特徴とする高周波誘導溶解装置用チャンバ。

IPC (2件)：