特許

J-GLOBAL ID：201103047568948564

圧力制御装置

発明者： 久保田 博也
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 柏原 三枝子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-004074
特許番号：特許第3033569号
出願日： 1999年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 圧力制御アクチュエータと、当該アクチュエータの開度を設定する開度設定手段とを具え、前記開度設定手段の設定に応じて制御対象の圧力を直接モードで制御する直接圧力制御回路と、圧力制御アクチュエータと、制御対象の圧力を検知する圧力センサと、制御目標圧力を設定する圧力設定手段と、前記圧力センサで検出した圧力と、前記制御目標圧力とに基づいて前記アクチュエータの開度を制御する開度制御手段とを具え、前記開度制御手段の出力に応じて制御対象の圧力を自動制御する自動圧力制御回路と、前記圧力制御アクチュエータへの入力を、前記開度設定手段の出力側と前記開度制御手段の出力側との間で切り替える第1のリレーと、前記開度制御手段への入力を、前記切替安定化回路の出力側と、前記圧力設定手段の出力側との間で切り替える第2のリレーとを具え、制御対象の圧力制御モードを前記直接制御モードと前記自動制御モード間で切り替える制御モード切替手段と、前記開度制御手段の出力と、前記圧力制御アクチュエータの入力を取り入れて前記開度制御手段の出力を前記圧力制御アクチュエータの入力と等しくする圧力設定ダミー信号を生成する切替安定化回路とを具え、直接制御モードにおいては、前記第1のリレーを前記開度設定手段の出力側に接続するとともに、前記第2のリレーを切替安定化回路の出力側へ接続して前記圧力設定手段の出力に代えてこの圧力設定ダミー信号を前記開度制御手段に入力し、自動制御モードにおいては前記第1のリレーを前記開度制御手段の出力側に接続するとともに、前記第2のリレーを前記圧力設定手段側に接続して制御目標圧力を前記開度制御手段に入力するように構成したことを特徴とする圧力制御装置。

IPC (1件)：

G05D 16/20

FI (2件)：

G05D 16/20 A ,  G05D 16/20 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プロセス制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-333842   出願人：株式会社島津製作所
• コントローラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128927   出願人：株式会社東芝