特許
J-GLOBAL ID:201103047577648840
貼合装置及び貼合方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
山口 義雄
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-015250
公開番号(公開出願番号):特開2002-216958
特許番号:特許第4573444号
出願日: 2001年01月24日
公開日(公表日): 2002年08月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 所定の貼合面を有する第1及び第2の部材を所定の樹脂材料を介して貼合する貼合装置において、
前記第1及び第2の部材を貼合する際に、当該第1及び第2の部材との間で所定方向に延出する空気逃げ通路を形成するように、前記樹脂材料を前記第1及び第2の部材の少なくとも一方の貼合面の複数箇所に部分的に塗布する塗布手段と、
前記樹脂材料が塗布された後で前記第1及び第2の部材を貼合する貼合手段とを備え、
前記貼合手段は、前記第2の部材の外面を押圧しながら移動する押圧力付与手段と、前記第2の部材を保持する保持手段とを含み、
前記保持手段は、前記第2の部材の一端側を吸着する吸着ブロックと、前記第2の部材の他端側を吸着するとともに前記吸着ブロックの吸着面に対して吸着面が上昇可能に設けられた吸着装置とからなり、
前記押圧力付与手段は、前記吸着ブロックと吸着装置との間に位置するローラにより構成され、
前記吸着ブロックと吸着装置が前記第2の部材の一端側と他端側をそれぞれ吸着した状態で前記吸着装置が上昇して前記第2の部材を撓ませた状態で当該第2の部材の一端側が第1の部材の一端側に接触するように設けられ、前記ローラを吸着ブロック側から吸着装置側に移動させると同時に吸着装置の吸着面を下降させて第2部材の撓み角を減少させながら貼合することで、前記空気逃げ通路から外部に向かって空気を追い出して塗布された樹脂材料が連なって薄膜層を形成するように前記第1及び第2の部材が貼合されることを特徴とする貼合装置。
IPC (4件):
H05B 33/10 ( 200 6.01)
, G09F 9/00 ( 200 6.01)
, H05B 33/04 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
FI (4件):
H05B 33/10
, G09F 9/00 342 Z
, H05B 33/04
, H05B 33/14 A
引用特許: