表面検査方法および表面検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：筒井大和 , 小塚善高 , 鷹野寧
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138222
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329537
特許番号：特許第4388623号
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ光源からのスポット状のレーザ光を一方向に拡大してライン状のレーザ光を形成して被検査物に前記ライン状のレーザ光を照射し、前記ライン状のレーザ光の前記被検査物の表面に対するラインに沿う方向の入射角度を走査し、前記ライン状のレーザ光を前記被検査物に対してラインに直交する方向に走査し、前記ライン状のレーザ光の前記被検査物からの反射光を受光して前記被検査物の表面欠陥を検出することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3件)：