特許
J-GLOBAL ID：201103048378716086
微細切削方法および微細切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
平田 忠雄
, 遠藤 和光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294003
公開番号（公開出願番号）：特開2001-113418
特許番号：特許第3918378号
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電解液が収納された加工槽内に被加工物とともに電極を配設し、
前記被加工物と前記電極との間に電解電圧を印加して前記被加工物表面に不働態膜を生成し、
この不働態膜を切削工具により切削して前記被加工物を所定の形状に加工する微細切削方法において、
前記電解電圧を印加しているときに、前記切削工具により前記不働態膜を除去した時の前記電極と前記被加工物間の電解電流のピーク電流を計測し、
前記電解電流のピーク電流と閾値とを比較し、
前記電解電流のピーク電流が前記閾値より大きいとき、前記電解電圧を下げ、前記電解電流のピーク電流が前記閾値より小さいとき、前記電解電圧を上げ、前記電解電流のピーク電流が前記閾値と同じとき、前記電解電圧を維持することで、前記不働態膜を形成する時の電解電圧を制御することを特徴とする微細切削方法。
IPC (2件)：
B23H 5/06 ( 200 6.01)
, B23H 5/00 ( 200 6.01)
