特許
J-GLOBAL ID:201103048403619503

電荷移動力検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-175633
公開番号(公開出願番号):特開2001-004644
特許番号:特許第3760681号
出願日: 1999年06月22日
公開日(公表日): 2001年01月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 弾性体の先端部に配置された検出用探針の曲率半径rが15nm≦r≦0.5cmで、かつ検出用探針が易電荷移動物質により被覆された電荷移動力検出用プローブと、前記検出用探針に電位を供給する電位供給手段と、検出用探針の変位を検出する変位検出手段と、を備え、試料表面の測定部以外の領域を接地電位にある導電性物質で被覆し、試料表面の探針接触部における電位を低下させることを特徴とする電荷移動力検出装置。
IPC (3件):
G01N 13/10 ( 200 6.01) ,  G01N 13/16 ( 200 6.01) ,  G12B 21/08 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01N 13/10 H ,  G01N 13/16 A ,  G12B 1/00 601 D
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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