特許
J-GLOBAL ID：201103048622641611
ポリアミド樹脂、ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206005
公開番号（公開出願番号）：特開2002-020485
特許番号：特許第3737342号
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
(式中、Xは下記式(2)で、 Yは下記式(3)の群の2価の芳香族基で示される。a、bはモル分率を示し、a+b=100モル%、a=60〜100モル%、b=0〜40モル%、nは平均値で、2〜200の正数)
IPC (11件)：
C08L 77/06 ( 200 6.01)
, C08G 69/42 ( 200 6.01)
, C08K 5/00 ( 200 6.01)
, G03F 7/022 ( 200 6.01)
, G03F 7/037 ( 200 6.01)
, G03F 7/075 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01L 23/29 ( 200 6.01)
, H01L 23/31 ( 200 6.01)
, C08K 5/13 ( 200 6.01)
, C08K 5/23 ( 200 6.01)
C08L 77/06
, C08G 69/42
, C08K 5/00
, G03F 7/022 601
, G03F 7/037
, G03F 7/075 521
, H01L 21/30 502 R
, H01L 23/30 D
, C08K 5:13
, C08K 5:23
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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