特許

J-GLOBAL ID：201103048856727226

楕円偏光計に対する試料の自動調整方法及び装置

発明者： ミヒャエル・アブラハム ,  オリバー・デプナー ,  マティアス・エーベルハルト
出願人/特許権者： ナノフォトニクス・アーゲー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111160
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344436
特許番号：特許第3247660号
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料表面を検査する楕円偏光計に対して、試料用テーブルに位置された試料を自動的に相対的に調整するように、前記楕円偏光計に対して調整することができ、調節手段に接続されている試料位置認識システムが前記楕円偏光計に関連して設けられてなる自動調節装置において、前記試料位置認識システム(20)が前記楕円偏光計に対しインタロック可能であり、前記試料(1)と、前記楕円偏光計(10)の座標原点との間隔を検出し、かつ前記試料(1)の傾斜を検出する前記試料位置認識システム(20)は、互いに直交する2つの軸に割当られていおり、前記調節手段は、前記試料用テーブル(2)に及び/又は前記試料位置認識システム(20)と前記楕円偏光計(10)とからなる装置全体(43)に作用すること、を特徴とする装置。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G01J 4/04 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/13 ,  G01N 21/21

FI (5件)：

G01B 11/00 A ,  G01J 4/04 A ,  G01N 21/01 B ,  G01N 21/13 ,  G01N 21/21 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭60-242308
  
• 偏光解析方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-064756   出願人：日本鋼管株式会社
• 特開平2-098618
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-242308
  
• 偏光解析方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-064756   出願人：日本鋼管株式会社
• 特開平2-098618