特許
J-GLOBAL ID:201103049216616475
ねじ部品の離脱防止装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
鈴江 孝一
, 鈴江 正二
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-060709
公開番号(公開出願番号):特開2001-248625
特許番号:特許第3713413号
出願日: 2000年03月06日
公開日(公表日): 2001年09月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ねじ部品が、半導体製造装置における往復動ポンプのヘッド構成壁の管路側に設けた雌ねじにねじ込まれる逆止弁の円筒状の合成樹脂製ケーシングであって、 前記ケーシングの外周に前記雌ねじにねじ込まれる雄ねじを設け、前記ケーシング内に弁体とこの弁体を弁座に対して押し付け付勢するばね部材とを内装してあり、 前記雄ねじの先端部の外周面に、該雄ねじの谷径よりも小さい外径の雄ねじ側環状凸起を円周方向に設け、前記雌ねじの内奥部の内周面に、前記雄ねじ側環状凸起の外径よりも小さい内径の雌ねじ側環状凸起を円周方向に設け、前記雌雄ねじの締付け力により前記雄ねじ側環状凸起が前記雌ねじ側環状凸起を乗り越えて該雌ねじ側環状凸起の内奥側に係合するようにしてあり、 前記雄ねじ側環状凸起の外径D1 と前記雌ねじ側環状凸起の内径D2 との寸法関係は、D1 /D2 =1.02〜1.1に設定しており、 前記雄ねじ側環状凸起の断面形状は台形状に形成し、この台形状の雄ねじ側環状凸起の雄ねじ軸方向先端側の一辺を斜辺に形成するとともにこの斜辺と相対向する他辺も斜辺に形成し、 前記雄ねじ側環状凸起の雄ねじ軸方向先端側の斜辺の傾斜角を40°以下に設定し、 ケーシングの先端面及びヘッド構成壁の内奥部端面がケーシング軸方向と垂直に形成され、前記雄ねじ側環状凸起が前記雌ねじ側環状凸起を乗り越えた状態で前記ケーシングの先端面と前記ヘッド構成壁の内奥部端面とを当接可能にしたことを特徴とするねじ部品の離脱防止装置。
IPC (2件):
FI (2件):
F16B 39/28 Z
, F04B 43/08 A
引用特許:
審査官引用 (7件)
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特開昭56-079022
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特開昭60-142812
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ボス部材用の取付具および該取付具を取り付けるボス部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-241492
出願人:住友電装株式会社
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半導体製造装置用ポンプ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-002934
出願人:日本ピラー工業株式会社
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特開昭57-120792
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特開昭56-079022
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特開昭60-142812
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