電子銃および電子銃を用いた描画装置および電子線応用装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：宮崎昭夫 , 岩田慎一 , 緒方雅昭 , 金田暢之 , 石橋政幸 , 伊藤克博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-088948
公開番号（公開出願番号）：特開2000-285840
特許番号：特許第3658235号
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子放出面が半球状であるカソードと、前記カソードと対向して配置され光軸上に第一のアパーチャを有するアノードと、前記アノードと前記カソードとの間に配置され、前記光軸上に第二のアパーチャを有し、前記カソードに印加される電位より低い電位が印加されるバイアス電極とを備え、前記カソードの半球状電子放出面の先端は、前記バイアス電極の第二のアパーチャの内径を直径とする球殻上に、または、前記球殻の外側に、配置されており、前記バイアス電極の第二のアパーチャの内径は、前記カソードの半球状電子放出面の直径の2倍以上であることを特徴とする電子銃。

IPC (4件)：