特許
J-GLOBAL ID：201103049895387323

基板処理装置

発明者：
前川 直嗣

前川 直嗣 について

, 
大橋 泰彦

大橋 泰彦 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259964
公開番号（公開出願番号）：特開2003-068826
特許番号：特許第3979808号
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数個の処理部と未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入する投入部と処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを払い出す払出部とを備え、各々の前記処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置であって、 未処理または処理済の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する第1のキャリア搬送機構と、 投入時には未処理の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送し、前記キャリアから前記基板を取り出し、払出時には処理済の基板を前記キャリアに収納し、複数枚の前記基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する第2のキャリア搬送機構と、 未処理または処理済の基板を搬送する基板搬送機構とを備え、 前記第1のキャリア搬送機構は、搬送方向に水平面内で直交する方向に複数個のキャリアを並べて同時に搬送し、投入時には未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを前記投入部から前記第2のキャリア搬送機構に受け渡し、払出時には処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを前記第2のキャリア搬送機構から前記払出部に受け渡し、 前記第2のキャリア搬送機構は、第1のキャリア搬送機構での搬送方向に水平面内で直交する方向に対して受け渡されたキャリアの数に相当する距離だけ移動可能であり、投入時には前記第1のキャリア搬送機構から受け取ったキャリアを直進方向に搬送した後、キャリアから未処理の基板を取り出し、基板を前記基板搬送機構に受け渡し、払出時には前記基板搬送機構から受け取った処理済の基板をキャリアに収納し、キャリアを直進方向に搬送した後に前記第1のキャリア搬送機構に受け渡し、 前記基板搬送機構は、投入時には未処理の基板を前記第2のキャリア搬送機構から最初に基板処理を行う処理部に受け渡し、基板を処理部間同士で受け渡し、払出時には最後に基板処理を行った処理部から処理済の基板を前記第2のキャリア搬送機構に受け渡し、 かつ、複数個分だけ水平に並べたキャリアを、搬送姿勢を変更せずに前記第1のキャリア搬送機構と第2のキャリア搬送機構との間で同時に受け渡し、 前記第2のキャリア搬送機構は、直進方向に対して受け渡されたキャリアの数に相当する距離だけ少なくとも移動可能であることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  H01L 21/306 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 D ,  H01L 21/304 648 C ,  H01L 21/306 K
引用特許：
審査官引用 (3件)

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