特許

J-GLOBAL ID：201103050255838408

単結晶引上げ機の不活性ガス排気系のセパレータタンク洗浄装置

発明者： 大地 良一 ,  小林 佳史
出願人/特許権者： 三菱住友シリコン株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287002
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104903
特許番号：特許第3632526号
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】単結晶引上げ機(11)に接続された排気管路(12)と、前記排気管路(12)を通して前記引上げ機(11)に供給された不活性ガスを吸引する水封式の真空ポンプ(13)と、前記真空ポンプ(13)内の封水(15)をセパレータタンク(23)及び封水クーラ(26)を通して循環させる循環ポンプ(25)と、前記セパレータタンク(23)内の封水(15)を排出可能な封水排出弁(32)とを備えた単結晶引上げ機の不活性ガス排気系において、前記セパレータタンク(23)の側壁中央部に設けられた洗浄ノズル(33)と、前記洗浄ノズル(33)に高圧の洗浄液(35)を供給する洗浄液供給手段(34)と、前記真空ポンプ(13)の回転速度を検出する回転センサ(37)と、前記セパレータタンク(23)に設けられこのタンクに貯留された封水(15)の量を検出する封水量センサ(38)と、前記真空ポンプ(13)及び前記封水量センサ(38)の各検出出力に基づいて前記封水排出弁(32)及び前記洗浄液供給手段(34)を制御し、前記セパレータタンク(23)内の封水(15)の排出と前記洗浄ノズル(33)からの前記洗浄液(35)の噴射を複数回繰返すコントローラ(39)とを備えたことを特徴とするセパレータタンク洗浄装置。

IPC (2件)：

B08B 9/093 ,  C30B 15/00

FI (2件)：

B08B 9/093 ,  C30B 15/00 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 泥状物の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-018621   出願人：麒麟麦酒株式会社
• 特開昭61-097187
  

審査官引用 (2件)

• 泥状物の除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-018621   出願人：麒麟麦酒株式会社
• 特開昭61-097187