特許
J-GLOBAL ID:201103050477727736

紫外線硬化型粘着シート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 幸久
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-074746
公開番号(公開出願番号):特開2000-104026
特許番号:特許第3669196号
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 2000年04月11日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基材フィルムの少なくとも片面に紫外線硬化型粘着剤層を設け、さらに該粘着剤層の表面にセパレータを貼付してなる紫外線硬化型粘着シートであって、前記セパレータとして(i)フィルムの粘着剤層貼付面の反対面にベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、サリチル酸誘導体系紫外線吸収剤及びベンゾフェノン系紫外線吸収剤から選択された紫外線吸収剤を含む層が設けられたもの又は(ii)内部にベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤、サリチル酸誘導体系紫外線吸収剤及びベンゾフェノン系紫外線吸収剤から選択された紫外線吸収剤を含むフィルムを用い、該セパレータの波長300〜400nmにおける紫外線透過率が65%以下であることを特徴とする半導体保護用又は半導体ウエハ固定用シート。
IPC (3件):
C09J 7/02 ,  C09J 9/00 ,  H01L 21/301
FI (3件):
C09J 7/02 Z ,  C09J 9/00 ,  H01L 21/78 M
引用特許:
審査官引用 (3件)

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