特許
J-GLOBAL ID:201103050788086378
着色感光性樹脂組成物、着色樹脂パターンの製造方法、カラーフィルター、および液晶表示装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-136522
公開番号(公開出願番号):特開2011-095716
出願日: 2010年06月15日
公開日(公表日): 2011年05月12日
要約:
【課題】現像時のパターニング性がよく、微細パターンが形成可能な着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】着色感光性樹脂組成物を、黒色材を含む着色剤と、アルカリ可溶性樹脂と、重合性基を3つ以上有する重合性化合物と、重合開始剤または重合開始系と、溶剤と、を含んで構成し、透明基板上に光学濃度が4.0の着色感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層を形成し、感光性樹脂層の透明基板側とは反対の面側から、マスクを介して感光性樹脂層を露光・現像処理して形成される第1のパターンの線幅W1のマスクの線幅W2に対する比W1/W2が0.7から1.5の範囲となる露光・現像条件で得られる第1のパターンの膜厚d2と、感光性樹脂層の透明基板側の面側から、マスクと前記透明基板とを介して、前記露光・現像条件で、感光性樹脂層を露光・現像処理して得られる第2のパターンの膜厚d1との比d1/d2を0.3以上とする。【選択図】なし
請求項(抜粋):
黒色の色材を含む着色剤と、アルカリ可溶性樹脂と、重合性基を3つ以上有する重合性化合物と、重合開始剤または重合開始系と、溶剤と、を含む着色感光性樹脂組成物であって、
透明基板上に光学濃度が4.0となるように前記着色感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層を形成し、
前記感光性樹脂層の前記透明基板に対向する面とは反対の面側から、マスクを介して前記感光性樹脂層を露光・現像処理して形成される第1のパターンの線幅W1の前記マスクの線幅W2に対する比W1/W2が0.7から1.5の範囲となる露光・現像条件で得られる前記第1のパターンの膜厚d2と、
前記感光性樹脂層の前記透明基板に対向する面側から、マスクと前記透明基板とを介して、前記比W1/W2が0.7から1.5の範囲となる露光・現像条件で、前記感光性樹脂層を露光・現像処理して得られる第2のパターンの膜厚d1との比d1/d2が0.3以上である着色感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/004
, G03F 7/029
, G03F 7/027
, G02B 5/20
, G02F 1/133
FI (6件):
G03F7/004 505
, G03F7/004 512
, G03F7/029
, G03F7/027 502
, G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
Fターム (78件):
2H048BA11
, 2H048BA45
, 2H048BA47
, 2H048BA48
, 2H048BA66
, 2H048BB01
, 2H048BB02
, 2H048BB12
, 2H048BB42
, 2H125AC35
, 2H125AC36
, 2H125AD00
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD10
, 2H125AD14
, 2H125AM13N
, 2H125AM22N
, 2H125AM22P
, 2H125AM23N
, 2H125AM26N
, 2H125AM26P
, 2H125AM27N
, 2H125AM27P
, 2H125AM32N
, 2H125AM32P
, 2H125AM53N
, 2H125AM58N
, 2H125AN12N
, 2H125AN39N
, 2H125AN39P
, 2H125AN42P
, 2H125AN47N
, 2H125AN47P
, 2H125AN60N
, 2H125AN65P
, 2H125AN68P
, 2H125AN83P
, 2H125AN89P
, 2H125AP01N
, 2H125AP03P
, 2H125BA01N
, 2H125BA02N
, 2H125BA02P
, 2H125BA09P
, 2H125BA16P
, 2H125BA32N
, 2H125BA32P
, 2H125BA35P
, 2H125CA18
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD22P
, 2H125CD31
, 2H191FA02Y
, 2H191FA16Y
, 2H191FA22X
, 2H191FA22Z
, 2H191FA30X
, 2H191FA30Z
, 2H191FA81Z
, 2H191FA94Y
, 2H191FB03
, 2H191FB04
, 2H191FB22
, 2H191FC10
, 2H191FC13
, 2H191FC16
, 2H191FC32
, 2H191FC33
, 2H191FC36
, 2H191FC37
, 2H191GA22
, 2H191HA11
, 2H191HA15
, 2H191LA13
, 2H191LA19
引用特許: