特許
J-GLOBAL ID：201103050882315356
回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤製造装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 元彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-026746
公開番号（公開出願番号）：特開2002-230845
特許番号：特許第3970527号
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】スピンドルチャンバと、前記スピンドルチャンバから1端部が露出しつつ収容され気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記スピンドルチャンバと前記スピンドルシャフトとの間隙に介在する圧力シールと、前記スピンドルシャフト内に収容され、一部が前記スピンドルチャンバ内の空間に露出した高電圧線と、を備えた回転駆動装置であって、
前記高電圧線が露出した空間に絶縁性気体を導入する手段を有することを特徴とする回転駆動装置。
IPC (4件)：
G11B 7/26 ( 200 6.01)
, H01J 37/30 ( 200 6.01)
, H02K 7/08 ( 200 6.01)
, G11B 19/20 ( 200 6.01)
G11B 7/26 501
, H01J 37/30 Z
, H02K 7/08 B
, G11B 19/20 F
