特許
J-GLOBAL ID：201103051226821357

熱型変位素子及び放射検出装置

発明者：
鈴木 純児

鈴木 純児 について

, 
石津谷 徹

石津谷 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134143
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326299
特許番号：特許第4538862号
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基体と、該基体に脚部を介して支持され熱に応じて前記基体に対して変位する変位部とを備えた熱型変位素子において、 前記脚部が、第1の薄膜部材又は第2の薄膜部材で構成され、 前記第1の薄膜部材は、1層又は複数層の膜からなる平面部を有し該平面部が空中に位置するように支持された薄膜部材であって、前記平面部の周辺部分の少なくとも一部に渡って、前記平面部から立ち上がるかあるいは立ち下がる立ち上がり部又は立ち下がり部が形成された薄膜部材であり、 前記第2の薄膜部材は、複数層の膜からなる平面部を有し該平面部が空中に位置するように支持された薄膜部材であって、前記平面部の周辺部分の少なくとも一部に渡って、前記複数層の膜のうちの少なくとも1層の膜が、前記複数層の膜のうちの他の少なくとも1層の膜の縁部分を覆うように形成された薄膜部材である、 ことを特徴とする熱型変位素子。
IPC (4件)：
B81B 3/00 ( 200 6.01) ,  B32B 1/00 ( 200 6.01) ,  B81C 1/00 ( 200 6.01) ,  G01J 5/38 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B81B 3/00 ,  B32B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/38
引用特許：
審査官引用 (4件)
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