非晶質硬質炭素膜及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村井卓雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-135366
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316819
特許番号：特許第4612147号
出願日： 2000年05月09日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭素と水素を主成分とする非晶質炭素膜であって、膜中に、Si,Ti,B及びWからなる群より選ばれた少なくとも1種以上の元素の金属酸化物を含有し、かつ酸素の含有量が0.1〜10原子%であることを特徴とする非晶質硬質炭素膜。

IPC (2件)：