特許

J-GLOBAL ID：201103051580253331

化学気相堆積気化装置

発明者： ツァオ, ジュン ,  リュオ, リー ,  ジン, キャオリャン ,  チャン, フランク ,  ドーンフェスト, チャールズ ,  タン, ポー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (5件)： 長谷川 芳樹 ,  池田 成人 ,  柏岡 潤二 ,  山田 行一 ,  鈴木 康仁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-561376
特許番号：特許第4480274号
出願日： 1999年07月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 1つ以上の液体を気化する装置であって、 a)主気化部を形成し、注入チャンネルおよび排出チャンネルを備えた本体と、 b)前記1つ以上の液体を前記主気化部に供給する液体注入部材と、 c)前記主気化部と前記排出チャンネルとの間に配置されたブロッカであって、該ブロッカを通して形成された複数の高コンダクタンスチャンネルを備える該ブロッカと、 d)前記主気化部と熱的に連通している1つ以上の加熱部材と、 を備える装置。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ( 200 6.01) ,  B01J 19/00 ( 200 6.01) ,  C23C 16/448 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/31 B ,  B01J 19/00 L ,  C23C 16/448

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 液体原料気化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-148541   出願人：株式会社荏原製作所
• CVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-238315   出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社

審査官引用 (2件)

• 液体原料気化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-148541   出願人：株式会社荏原製作所
• CVD装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-238315   出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社