複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：清水守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-016531
公開番号（公開出願番号）：特開2000-215840
特許番号：特許第3730041号
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法において、サンプルにかかる高圧のバイアス電圧を制御することにより、X線源、電子源及び重水素ランプからなる励起源を用い、前記励起源、サンプル位置、電子顕微鏡の結像条件の調整を行うことなく、前記サンプルから放出される電子の対物レンズの位置における運動エネルギーが前記励起源を交換していずれの前記励起源を用いても一定となるようにしたことを特徴とする複合放出電子顕微鏡における放出電子加速方法。

IPC (4件)：