薄膜の膜厚測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195925
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021324
特許番号：特許第3817094号
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】少なくとも約220nmから850nmの波長域を有する光源と、基板を局部的に支持するためのロボットハンドと、前記基板は、前記ロボットハンドにより支持されることにより数ミリの変位で垂れ下がり、傾き角が8度以下の部分を有し、前記光源からの光を導き、前記基板上に形成された薄膜に対してほぼ垂直に光を照射する照射手段と、前記薄膜または前記基板からの反射光を受光する受光手段と、前記受光手段で受光された前記反射光を波長ごとに分光する分光手段と、前記分光手段で分光された約220nmから850nmの波長域内の前記反射光の強度に基づいて、前記薄膜の膜厚を算出する算出手段とを含み、前記照射手段は、1つの光ファイバを含み、前記受光手段は、前記光ファイバの周囲にそれぞれ配置され、前記基板からの反射光をそれぞれ受光する複数の光ファイバを含み、前記ロボットハンドは、前記照射手段と前記基板との間を10mm以上100mm以下の距離で前記基板を支持する、薄膜の膜厚測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/06 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01B 11/06 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

分光測定方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-328615 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開昭61-165608
特開昭61-165608

全件表示

前のページに戻る