特許

J-GLOBAL ID：200903038554436571

分光測定方法および装置

発明者： 小久保 正彦 ,  玉田 厚
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328615
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160030
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 再現性の良い分光特性の測定を、効率良く行うことができる分光測定方法および装置を提供する。【解決手段】 被測定試料の分光特性を測定する準備処理として、ホルミウムガラスの特定波長を制御ユニットに記憶する。そして、ホルミウムガラスを照明位置に位置決めし、ホルミウムガラスの分光特性を測定する。各波長帯において最も顕著に輝度レベルの変化が生じている部分の重心画素の番号をそれぞれ求めた後、制御ユニットから準備処理で求めた特定波長を読み出し、補間係数を求める。それに続いて、被測定試料を照明位置に位置決めし、分光特性を測定する。そして、上記補間係数を用い、所定の波長較正式にしたがって各画素番号に対応する波長を演算し、波長較正を行う。

請求項（抜粋）：

所定の波長域の照明光が照射される照明位置に被測定試料を位置決めした時に前記被測定試料から射出される光を分光し、各スペクトルを複数の画素からなるラインセンサで受光して分光特性を測定する分光測定方法であって、(a) 前記波長域に存在し、しかも互いに異なる少なくとも2つ以上の特定波長において、透過率あるいは反射率が極大的に変化する参照光学部材を準備する工程と、(b) 前記参照光学部材の特定波長を記憶する工程と、(c) 被測定試料の分光特性を測定するのに先立って、前記参照光学部材を前記照明位置に位置決めすることで、前記参照光学部材の分光特性を測定し、前記複数の画素のうち前記特定波長のスペクトルを受光する画素を特定する工程と、(d) 前記工程(c)において特定された画素に基づき、前記画素の各々で受光されるスペクトルの波長を演算する工程と、(e) 前記工程(d)を行った後、被測定試料を前記照明位置に位置決めし、当該被測定試料から射出される光を分光し、分光特性を実測した後、当該分光特性を前記工程(d)の演算結果に基づき波長較正する工程と、を備えたことを特徴とする分光測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/27

FI (2件)：

G01B 11/06 Z ,  G01N 21/27 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 分光分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-133504   出願人：株式会社クボタ
• 小麦の品質判定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-164994   出願人：北海道, 株式会社クボタ
• 光吸収計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-213788   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (3件)

• 分光分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-133504   出願人：株式会社クボタ
• 小麦の品質判定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-164994   出願人：北海道, 株式会社クボタ
• 光吸収計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-213788   出願人：株式会社ニコン