特許
J-GLOBAL ID：201103052239685130
ウエハの外周位置検出方法およびその方法を実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体ならびにウエハの外周位置検出装置。
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-338601
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148019
特許番号：特許第3963300号
出願日： 2000年11月07日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光源と、その光源の光を受光して一端から他端まで順にスキャンして検出位置情報と検出データを出力するCCDリニアセンサとを備え、前記光源と前記CCDリニアセンサの間に半導体ウエハの外周が位置するときは前記検出データがLOからHI又はHIからLOに変わるエッジによって前記半導体ウエハの外周位置を検出するプリアライメントセンサにおいて、
前記CCDセンサが前記ウエハの外周側から内側へスキャンして前記検出位置情報と前記検出データを順次出力すると、前記検出データがLOからHI又はHIからLOに変わるエッジのところの前記検出位置情報が記録され、
前記エッジが複数ある場合はスキャンしたときの最後の前記エッジに対応する前記検出位置情報が前記半導体ウエハの外周位置とされることを特徴とするウエハの外周位置検出方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
G01B 11/00 C
, H01L 21/30 520 A
, H01L 21/68 F
, H01L 21/68 M
