露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：佐藤一雄 , 小野寺捷洋 , 中村行孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129944
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321779
特許番号：特許第4267127号
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】底部にスクリーンPS版の感光性樹脂層を下面側から光を照射するための主露光器を内蔵し、上端部にマスクフィルムを載置するための水平方向にスライド自在な透明ガラス板を備えていると共に、スクリーンPS版の感光性樹脂層と透明ガラス板との間に挟んだマスクフィルムをスクリーンPS版に密着させるための減圧機器を備えた画像部露光用函体部と、天井部分付近にスクリーンPS版の感光性樹脂層を上面側から光を照射するための従露光器を内蔵すると共に、該従露光器の下側にスクリーンPS版を挿入自在としたガイドレールを配設し、かつ該ガイドレールに挿入したスクリーンPS版の感光性樹脂層の上面に、該スクリーンPS版の感光性樹脂層の画像形成部分に凸状遮光板を載置した画像周辺部露光用函体部と、前記画像部露光用函体部の上方で前記画像周辺部露光用函体部を昇降自在とする昇降機とから構成されていることを特徴とする露光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G03F 7/20 511

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-238457
特開昭55-026561
特開昭61-156259

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審査官引用 (5件)

特開平3-238457
特開昭55-026561
特開昭61-156259

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