アルミナ質耐食部材及びプラズマ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-054854
公開番号（公開出願番号）：特開2001-240461
特許番号：特許第4623794号
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルミナを主結晶相とし、その粒界相としてサイアロンを含み、かつ珪素の含有量が全量中0.01〜0.5モル%、窒素の含有量が全量中0.01〜1モル%、アルミニウムおよび珪素以外の金属元素の含有量が0.1モル%以下であることを特徴とするアルミナ質耐食部材。

IPC (3件)：

C04B 35/10 ( 200 6.01) , H01L 21/31 ( 200 6.01) , H05H 1/46 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C04B 35/10 Z , H01L 21/31 C , H05H 1/46 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

前のページに戻る