特許
J-GLOBAL ID:201103053044040786

被加工板の表面検査システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 平木 祐輔 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-162471
特許番号:特許第3093202号
出願日: 1999年06月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 長尺の被加工板を1次元撮像するラインセンサと、前記被加工板の走行速度を測定する速度測定手段と、該速度測定手段によって測定される被加工板の走行速度に基づいて前記ラインセンサのサンプリングを制御するサンプリング制御手段と、前記ラインセンサの出力を合成して2次元の画像データとする画像合成メモリと、前記被加工板の斜行度に基づいて前記画像データを修正する制御手段と、を備えることを特徴とする被加工板の表面検査システム。
IPC (2件):
G01B 11/30 ,  G01B 21/00
FI (2件):
G01B 11/30 Z ,  G01B 21/00 H
引用特許:
審査官引用 (3件)

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