特許

J-GLOBAL ID：201103053119815517

高温高圧処理装置

発明者： 藤川 隆男 ,  坂下 由彦
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 安田 敏雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315646
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135641
特許番号：特許第3874975号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 圧力容器(3)内の処理室に積層された板状の被処理物(2)をヒータ(15)によって加熱して高温高圧雰囲気下で処理を行う高温高圧処理装置において、 前記ヒータ(15)が前記被処理物(2)下方のみに位置するよう前記処理室内に配設され、 上下に常時開口する開口部を有する均熱化筒体(17)が前記被処理物(2)を取り囲むように前記処理室内に配設されている ことを特徴とする高温高圧処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/324 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/324 R ,  H01L 21/324 K

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-132353   出願人：石川島播磨重工業株式会社