薄膜評価方法および薄膜評価装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田守 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-169977
公開番号（公開出願番号）：特開2001-349816
特許番号：特許第3416618号
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水晶振動子の表面電極の上に被測定薄膜を形成して溶媒に浸漬し、前記薄膜の重量変化を測定するマイクロバランス法において、前記水晶振動子の表面電極を互いに分離して複数個設け、それぞれの表面電極の上の前記被測定薄膜の重量変化を測定することを特徴とする薄膜評価方法。

IPC (3件)：