特許
J-GLOBAL ID:201103053581469187

ガラス膜の形成方法、金属膜の形成方法、および電子部品の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-128370
公開番号(公開出願番号):特開2001-237135
特許番号:特許第3620404号
出願日: 2000年04月27日
公開日(公表日): 2001年08月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】(A)回転可能な容器内に被膜形成体を配する第1工程と、(B)前記容器を回転させながら前記被膜形成体に、ガラス粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるガラススラリーを吹き付けて、その表面にガラス塗膜を形成する第2工程と、(C)前記容器を回転させながら前記被膜形成体を加温し、前記ガラス塗膜を乾燥させる第3工程と、を有することを特徴とする、ガラス膜の形成方法において、 前記ガラススラリーは、前記ガラス粉末と前記バインダ樹脂との重量比が80/20〜25/75であって、かつ、前記ガラス粉末と前記バインダ樹脂との合計量と前記溶剤との重量比が70/30〜20/80であり、 前記ガラス粉末の平均粒径(D50)は0.1〜10μmであり、 前記ガラススラリーの粘度は、0.01Pa・s〜10Pa・sであることを特徴とする、ガラス膜の形成方法。
IPC (2件):
H01F 41/04 ,  B05D 7/24
FI (3件):
H01F 41/04 B ,  H01F 41/04 F ,  B05D 7/24 302 A
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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