板硝子ハンドリング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水千春
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-378650
公開番号（公開出願番号）：特開2003-182842
特許番号：特許第4174986号
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】板硝子の一方の面に押圧力を作用させて、上記板硝子を一方の面側から支持するホルダーと、上記板硝子の縁部を拘束して、上記板硝子が面に沿う方向にずれるのを防止するストッパーとを備えてなり、上記ホルダーは、流体が供給される角パイプの上記一方の面を向く一側面部に設置されたシリンダと、このシリンダ内に軸方向に移動自在に設けられるとともに上記軸方向に延びて上記角パイプ内に連通する貫通孔が形成されたピストンと、このピストンの上記シリンダから突出した先端部に上記貫通孔を塞ぐように設けられて流出する流体を介して上記板硝子の一方の面に押圧力を作用させる多孔質のヘッドと、上記ピストンを上記角パイプの内方に付勢する圧縮コイルスプリングとを備え、かつ、上記ストッパーは、上記板硝子における縁部の他方の面に係止する爪部を備えていることを特徴とする板硝子ハンドリング装置。

IPC (3件)：

B65G 49/06 ( 200 6.01) , H01L 21/304 ( 200 6.01) , H01L 21/677 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B65G 49/06 Z , H01L 21/304 622 L , H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

非接触式チャック装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-034969 出願人：新明和工業株式会社
板状部材の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-133035 出願人：第一施設工業株式会社, 永田徹三
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-136638 出願人：スピードファム・アイペック株式会社

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審査官引用 (5件)

非接触式チャック装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-034969 出願人：新明和工業株式会社
板状部材の搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-133035 出願人：第一施設工業株式会社, 永田徹三
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-136638 出願人：スピードファム・アイペック株式会社

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