フッ素ガスまたは三フッ化窒素ガス発生用炭素電極及びそれを用いたフッ素ガスまたは三フッ化窒素ガス発生装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶良之 , 須原誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111921
公開番号（公開出願番号）：特開2001-295086
特許番号：特許第3550074号
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】炭素質材料と、フッ化リチウムと、炭素質材料の焼成温度以上の融点を持つ金属フッ化物とを混合してなるフッ素ガスまたは三フッ化窒素ガス発生用炭素電極であって、前記フッ化リチウムと前記金属フッ化物とからなる2成分系金属フッ化物の含有率が0.1〜5質量%であり、前記2成分系金属フッ化物のうち、20〜40%を前記フッ化リチウムの混合割合とし、残部を前記金属フッ化物とするフッ素ガスまたは三フッ化窒素ガス発生用炭素電極。

IPC (5件)：