排出用フィルタを備えたクライオポンプ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉本修司 , 野田雅士 , 堤健郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-528798
特許番号：特許第4303886号
出願日： 1999年01月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ハウジングを有する真空容器であって、そのハウジングに排出管を接続し、さらにその排出管に逃がし管を分岐して接続し、前記真空容器が真空チャンバを形成し、前記ハウジングが前記真空チャンバ内にポンプ領域を形成し、前記排出管が前記真空チャンバ内に排出流路を形成し、さらに前記逃がし管が前記真空チャンバ内に逃がし流路を形成する真空容器と、前記逃がし管内に取付けて、前記排出流路内にまで延出しているフィルタスタンドパイプと、前記ポンプ領域内に配置した少なくとも1つのクライオパネルと、前記クライオパネルに熱接触している極低温冷凍機と、を備えているクライオポンプ。

IPC (1件)：