特許
J-GLOBAL ID：201103054549933277
アルコキシドの精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-069583
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335310
特許番号：特許第4287942号
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】化学式M(OCmH2m+1)nまたはMO(OCmH2m+1)nで表わされる粗アルコキシドを蒸留した後、該蒸留したアルコキシドの液中に不活性ガスを通気するとともに超音波振動を与えてストリッピングを行なうことを特徴とするアルコキシドの精製方法。(式中のMは金属、mは1〜4の整数、nは3〜5の整数を表わす)
IPC (10件)：
C07C 29/80 ( 200 6.01)
, C07C 29/76 ( 200 6.01)
, C07C 31/28 ( 200 6.01)
, C07C 31/32 ( 200 6.01)
, H01L 21/31 ( 200 6.01)
, H01L 21/316 ( 200 6.01)
, C07F 7/04 ( 200 6.01)
, C07F 7/28 ( 200 6.01)
, C07F 9/00 ( 200 6.01)
, C23C 16/18 ( 200 6.01)
C07C 29/80
, C07C 29/76
, C07C 31/28
, C07C 31/32
, H01L 21/31 F
, H01L 21/316 X
, C07F 7/04 K
, C07F 7/28 B
, C07F 9/00 Z
, C23C 16/18
