特許

J-GLOBAL ID：201103054654871112

液面検出装置

発明者： 小野 剛 ,  高須 達也
出願人/特許権者： アロカ株式会社
代理人 (2件)： 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-245616
公開番号（公開出願番号）：特開2002-054979
特許番号：特許第4550978号
出願日： 2000年08月14日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 液面に対して下降する導電性部材を利用して液面検出を行う液面検出装置において、 前記導電性部材による静電容量の大きさに応じた信号伝達特性を有する容量性回路と、 前記容量性回路に所定のパルス幅をもった基準パルス信号を出力する基準信号生成回路と、 前記基準パルス信号と、前記容量性回路からの出力信号であって前記パルス信号の波形の崩れに相当するパルス幅をもった出力パルス信号との比較に基づいて前記静電容量の大きさを表す容量指標信号を生成する容量指標生成回路と、 前記容量指標信号のパルス幅に基づいて、液面及び静電気の帯電を判定する液面帯電判定回路と、 を含み、 前記液面帯電判定回路は、前記導電性部材の下降時において、前記容量指標信号のパルス幅が設定値αより大きく且つ設定値βよりも小さい場合に液面を判定し(但しα<β)、前記容量指標信号のパルス幅が設定値βよりも大きい場合に帯電を判定する、ことを特徴とする液面検出装置。

IPC (2件)：

G01F 23/26 ( 200 6.01) ,  G01N 35/10 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01F 23/26 A ,  G01N 35/06 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電容量検出装置及びそれを用いたセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-028059   出願人：株式会社エイアンドティー
• 液面検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-086652   出願人：株式会社日立製作所
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-120737   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

審査官引用 (3件)

• 静電容量検出装置及びそれを用いたセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-028059   出願人：株式会社エイアンドティー
• 液面検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-086652   出願人：株式会社日立製作所
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-120737   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社