ラッピング装置及びラッピング方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：林恒徳 , 土井健二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-296456
特許番号：特許第3625685号
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワークの高さを所定値にラッピングするラッピング方法において、前記ワークのそり量を検出するステップと、前記ワークのそりを矯正するため、流体圧力に応じて、前記ワークに与える圧力を可変にできる矯正機構の加圧力を、前記検出されたそり量が目標値になるように、制御するステップとを有し、前記制御するステップは、その周期が、前記検出されたそり量と前記目標値との差に応じて変化するステップからなることを特徴とするラッピング方法。

IPC (1件)：