特許
J-GLOBAL ID：201103054780210881
液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369725
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183512
特許番号：特許第3344395号
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置において、1)その表面に剥離層を設けたロール状の樹脂フィルムもしくは金属フィルム(キャリア)を供給する第一巻き出し部、2)該ロール状の樹脂フィルムもしくは金属フィルム(キャリア)表面上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布する第一塗布部、3)該ロール状の樹脂フィルムもしくは金属フィルム(キャリア)表面上のカラーフィルタ用フォトレジストを乾燥する前乾燥部、4)乾燥した該カラーフィルタ用フォトレジストにカラーフィルタパターンを露光する露光部、5)カラーフィルタパターンを露光したカラーフィルタ用フォトレジストを現像・水洗する現像・水洗部、6)現像・水洗により形成されたカラーフィルタパターンを乾燥する後乾燥部、7)該ロール状の樹脂フィルムもしくは金属フィルム(キャリア)表面上に乾燥したカラーフィルタパターンが設けられたキャリアを巻き取る第一巻き取り部、からなるカラーフィルタパターン形成装置と、8)乾燥したカラーフィルタパターンが設けられたロール状のキャリアを供給する第二巻き出し部、9)該ロール状のキャリア表面上に接着剤を塗布する第二塗布部、10)ガラス板表面上に該ロール状のキャリアの接着剤面を密着し、全面露光し、ロール状のキャリアを剥離し、キャリア上に形成されたカラーフィルタパターンを該ガラス板表面上に転写する転写・剥離部、11)カラーフィルタパターンを該ガラス板表面上に転写したあとのロール状のキャリアを巻き取る第二巻き取り部、からなるカラーフィルタパターン転写・剥離装置とで構成される液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置であって、前記前乾燥部が、温度60°C〜80°Cの空気を用いた、流速0.1m/sec以下の無風ゾーン、流速0.1m/sec〜0.7m/secの微風ゾーン、流速1.0m/sec〜2.0m/secの温風ゾーンの3ゾーンで構成されることを特徴とする液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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