特許

J-GLOBAL ID：201103054902565945

結晶保持装置

発明者： 蔭山 輝夫 ,  明石 義弘
出願人/特許権者： 三菱住友シリコン株式会社
代理人 (2件)： 柳舘 隆彦 ,  吉田 正二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-276634
公開番号（公開出願番号）：特開2001-097798
特許番号：特許第3573021号
出願日： 1999年09月29日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】CZ法により育成される単結晶を上端部で保持して引上げる結晶保持装置であって、単結晶を育成するための引上げ軸が内側を挿通し、育成結晶を引上げるために昇降及び回転を行うフレームと、育成結晶の上端部を把持するために、フレームの周方向複数箇所に回動自在に取付けられた複数の回動式クランプと、フレーム内に昇降自在に組み込まれ、引上げ軸の下端部に連結されたシードチャックに押し上げられてフレーム内を上昇し、その上昇により複数の回動式クランプを開状態から閉状態に移行させるクランプ操作機構とを具備しており、クランプ操作機構は、各回動式クランプが自重によって閉方向に倒れ込む状態のときに、その倒れ込みを阻止しつつ各回動式クランプを閉方向に回動させる構成である結晶保持装置。

IPC (1件)：

C30B 15/30

FI (1件)：

C30B 15/30

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 単結晶の引き上げ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-295734   出願人：株式会社小松製作所