特許

J-GLOBAL ID：201103055301385938

角度測定系

発明者： トーンドルフ・セバスティアン ,  ティール・ユルゲン ,  ブラーシュ・ヤン ,  ゼイフリート・フォルカー ,  ホルツアプフェル・ヴォルフガング
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (4件)： 江崎 光史 ,  三原 恒男 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-540328
特許番号：特許第4503902号
出願日： 2000年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 互いに可動な2つの物体間の角度を非接触式に測定する角度測定系において、 これらの物体の各々が、角度測定系の構成群に接続されていて、第1構成群が、1つの光源(1)を有し、第2構成群が、1つの光検出器(2.2)を有し、さらに、1つの格子(2.1)が、この第1構成群か又は第2構成群のどちらか一方に敷設されていて、前記格子(2.1)は、振幅格子と位相格子を組み合わせて格子として形成されていること、 前記格子(2.1)は、1枚の光透過性の支持材(TR)を有し、振幅部分(AT)の複数の光非透過性層及び位相部分(PT)の複数の光透過層が、この光透過性の支持材(TR)上に配置されていること、 前記格子(2.1)の側面上では、前記位相部分(PT)の1つの位相ウェブが、前記振幅部分(AT)の2つのウェブ間の各第2中間空間内に配置されていて、この位相ウェブは、光が通過したときに位相を180°だけずらす角度測定系。

IPC (1件)：

G01D 5/38 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01D 5/38 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 変位情報検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-303611   出願人：キヤノン株式会社
• 位相格子および位相格子の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-084054   出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
• 特開平3-279811