剥離液の再生方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田英彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001000
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194807
特許番号：特許第3409005号
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レジスト樹脂の剥離廃液の再生方法であって、剥離廃液からレジスト樹脂を除去する工程と、レジスト樹脂を除去した剥離廃液を精製する工程、とを備え、前記レジスト樹脂除去工程において、内周面を加熱可能な蒸発面として有する密閉状の筒本体と、前記筒本体内に配置される回転体であってその外周面に放射状にブラシを有する回転体、とを備える樹脂除去装置を用い、前記筒本体内の前記蒸発面と回転する前記回転体又は前記ブラシとの間に前記剥離廃液を供給し、前記加熱された蒸発面に前記剥離廃液を接触させることにより、前記剥離廃液中の剥離液成分を蒸発させるとともに前記レジスト樹脂を流下させる、方法。

IPC (4件)：