特許

J-GLOBAL ID：201103055672388808

逆止弁

発明者： 石田 卓也
出願人/特許権者： 日本ピラー工業株式会社
代理人 (1件)： ▲吉▼川 俊雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-369004
公開番号（公開出願番号）：特開2001-182852
特許番号：特許第3369523号
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 内部に貫通する流路を有する合成樹脂製の逆止弁本体と、上記流路に介装されてこの流路を開閉する合成樹脂製の弁体と、この弁体を閉弁方向に押圧する合成樹脂製のスプリングとを備え、上記弁体にスプリングの押圧力を超える開弁方向の流体圧が作用したとき、スプリングが圧縮されながら弁体が開弁方向に移動して上記流路を開くように形成した、半導体製造装置内の配管用の逆止弁であって、スプリングに全圧縮が生じないように弁体の開弁方向の移動量を規制する弁体移動量規制手段を設けており、弁体基部が、後方に向かって径小となる逆テーパ状の円錐台部を有する形状であり、円錐台部の外周面における周方向等間隔の位置に、弁体移動量規制手段を構成する複数のスライド案内板が、径方向外方に突出して後方に延びる形状で一体形成されており、各弁体移動量規制手段の後方端における各軸心側を、スプリングのバネ端部によって周方向に相互に連接していることを特徴とする逆止弁。

IPC (3件)：

F16K 15/06 ,  F16K 1/00 ,  F16K 27/02

FI (3件)：

F16K 15/06 ,  F16K 1/00 Z ,  F16K 27/02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• チェック弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-088925   出願人：日信工業株式会社

審査官引用 (1件)

• チェック弁
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-088925   出願人：日信工業株式会社