クリーンルーム設備

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267461
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091005
特許番号：特許第3518438号
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】除塵手段を有するとともに、該除塵手段によって除塵された清浄エアをクリーンルーム設備の室内の側方から該室の天井面に沿って吹き出す空気調和機と、前記室の天井面近傍に設置され、前記空気調和機から吹き出された清浄エアの気流方向を制御する気流方向制御手段と、を備え、前記気流方向制御手段は、前記空気調和機から吹き出される清浄エアの吹出方向に設置された1個以上の、通気性を有する気流制御板によって構成され、該気流制御板に前記清浄エアが衝突することによって前記清浄エアの気流の向きが下向きに変えられることを特徴とするクリーンルーム設備。

IPC (2件)：