特許

J-GLOBAL ID：201103056302407192

表面検査装置

発明者： ヘンドリクス,ローベルト エフ エム ,  テュケル,テューニス ウェー
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (3件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-542855
特許番号：特許第3920218号
出願日： 2001年11月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 少なくとも一つのレーザー光源と、検査されるべき表面によって反射される光のための検出器とを有し、表面を検査する、特に、一つ以上の半導体の表面(複数の表面)を検査する装置であって、 上記反射された光と関連付けられる、且つ、少なくとも一つの横方向のレーザーモードをフィルタ処理するように具現された、少なくとも一つのモードフィルタを有することを特徴とする装置。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  G01N 21/88 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 21/956 A ,  G01N 21/88 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ガラス基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-185724   出願人：フェーズ・メートリクス・インコーポレーテッド