特許
J-GLOBAL ID:201103056943297613
スクリーン印刷におけるスクリーンマスクの位置合わせ方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-012811
公開番号(公開出願番号):特開2000-211106
特許番号:特許第3661468号
出願日: 1999年01月21日
公開日(公表日): 2000年08月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】パターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接させ、前記スクリーンマスク上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより基板にペーストを印刷するスクリーン印刷においてスクリーンマスクを基板に対して位置合わせするスクリーン印刷におけるスクリーンマスクの位置合わせ方法であって、前記基板の特徴部およびスクリーンマスクの特徴部を単一の撮像手段により撮像する工程と、この撮像データに基づいて画像処理部により前記基板およびスクリーンマスクの特徴部の位置を認識する画像処理工程と、認識結果に基づいて前記基板およびスクリーンマスクの相対的な位置ずれ量を計算し、計算結果を記憶部に記憶させる工程とを含み、前記基板およびスクリーンマスクの特徴部はそれぞれ基板表面に設けられた認識マークおよびスクリーンマスクに設けられた開口部であり、前記画像処理工程において認識パラメータ記憶部から前記認識マークおよび開口部の形状やサイズを表わす認識パラメータを読み出して認識マークおよび開口部のリファレンスパターンを自動作成し、このリファレンスパターンと入手された画像データをパターンマッチングしながら位置検索処理行うことにより前記認識マークおよび開口部の位置を検出することを特徴とするスクリーン印刷におけるスクリーンマスクの位置合わせ方法。
IPC (5件):
B41F 15/08
, B41F 15/26
, B41F 15/36
, B41F 33/14
, H05K 3/34
FI (5件):
B41F 15/08 303 E
, B41F 15/26 A
, B41F 15/36 A
, H05K 3/34 505 D
, B41F 33/14 K
引用特許:
出願人引用 (6件)
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クリームはんだ印刷装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-266443
出願人:東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
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スクリーン印刷方法とその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-126667
出願人:松下電器産業株式会社
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スクリーン印刷機及びその印刷方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-165195
出願人:松下電器産業株式会社
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スクリーン印刷機
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-004712
出願人:松下電器産業株式会社
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スクリーン印刷装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-013479
出願人:松下電器産業株式会社
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特開平4-353448
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審査官引用 (4件)