特許
J-GLOBAL ID：201103057302623568
剥離剤組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細田 芳徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014677
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214599
特許番号：特許第3477390号
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多価カルボン酸及び/又はその塩と、水30〜99.9重量%と、式(II):R2 〔(X)(AO)k R3 ]m (II)(式中、R2 は水素原子又は炭素数1〜8の炭化水素基、Xは-O-基、-COO-基、-NH-基、又は-N((AO)n H)-基、k及びnはそれぞれ独立して1〜20の整数、Aは炭素数2又は3のアルキレン基、R3 は水素原子又は炭素数1〜8の炭化水素基、mは1〜8の整数を示す)で表されるアルキレンオキサイド化合物、アルコール、エーテル、カルボニル化合物、エステル、フェノール、含窒素化合物及び含硫黄化合物からなる群より選ばれた1種以上の有機溶媒とを含有し、pHが8未満であり、該多価カルボン酸が、式(I): B-[(R1 )p -(COOH)q ]r (I)(式中、R1 は炭素数1〜20の直鎖状、分岐鎖状若しくは環状の骨格からなる飽和又は不飽和炭化水素基であり、1〜5個の酸素原子、窒素原子又は硫黄原子を有していてもよく、R1 の炭素原子に結合している水素原子は-OH基、-NH2 基、-SH基又は-NO2 基で置換されていてもよく、-COOH基はR1の同一炭素原子に1個又は複数個結合していてもよく、pは0又は1、qは1〜40の整数、rは1〜3の整数、qとrの和は2以上、Bは存在しないか又は-O-基、-CO-基、-NH-基、-S-基若しくは;;化1::基を示す)で表される化合物である、含フッ素化合物及び硝酸を含まないレジスト用剥離剤組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/42
, C09D 9/00
, H01L 21/027
G03F 7/42
, C09D 9/00
, H01L 21/30 572 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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