特許
J-GLOBAL ID:201103057388058531

光回路の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 入戸野 巧 ,  本山 泰
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-081438
公開番号(公開出願番号):特開2001-264567
特許番号:特許第3616549号
出願日: 2000年03月23日
公開日(公表日): 2001年09月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】平面基板上に、石英系を主たる素材として作製された光が伝播するコア部と、該コア部の周りのコア部より屈折率の低いクラッド部からなる光導波路を有し、該光導波路により形成された、光結合器と、該光結合器に縦列する2導波路であるアーム導波路と、光結合器により構成されたマッハツェンダ干渉計よりなる光回路の製造方法において、該マッハツェンダ干渉計の2本のアーム導波路に対し、一方のアーム導波路には、紫外或いは可視領域の光を前記アーム導波路のコアが延在する方向と直交する方向の照射領域幅をTE偏波とTM偏波の光誘起屈折率変化量がほぼ等しくなるときの幅で照射し、他方のアーム導波路には、紫外或いは可視領域の光を前記アーム導波路のコアが延在する方向の照射領域幅は変えずに、前記アーム導波路のコアが延在する方向と直交する方向の照射領域幅をTE偏波とTM偏波の光誘起屈折率変化量がTE偏波の方が大きいときの幅で照射することを特徴とする光回路の製造方法。
IPC (3件):
G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/126
FI (3件):
G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 F ,  G02B 6/12 E
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (1件)

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