特許

J-GLOBAL ID：201103057467558973

気体分析方法

発明者： 白水 好美
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-108070
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298081
特許番号：特許第3353823号
出願日： 1999年04月15日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被測定環境中に含まれるアンモニアおよびアミン類を吸収液に溶解させ、該吸収液を分析することにより前記被測定環境中のアンモニアおよびアミン類の分析を行う気体分析方法において、前記吸収液がポリアミノカルボン酸類を含有することを特徴とする気体分析方法。

IPC (5件)：

G01N 1/22 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/26 ,  G01N 30/88 ,  G01N 31/00

FI (5件)：

G01N 1/22 S ,  G01N 30/06 Z ,  G01N 30/26 A ,  G01N 30/88 H ,  G01N 31/00 G

引用特許：

出願人引用 (3件)

• クリーンルーム雰囲気中及び半導体基板表面上の不純物の分析方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-261218   出願人：日本電気株式会社
• 気体捕集装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-263530   出願人：シャープ株式会社
• 特開平2-236434