特許

J-GLOBAL ID：201103057980196173

プローブの清掃剤、清掃方法及び清掃装置

発明者： 庄 雅彦 ,  牧野 宏昭
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-169960
公開番号（公開出願番号）：特開2002-177895
特許番号：特許第3490984号
出願日： 2001年06月05日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 水と水酸化ナトリウムと塩化亜鉛との混合液を含む、プローブの清掃剤。

IPC (6件)：

B08B 1/00 ,  B08B 3/02 ,  B08B 3/08 ,  C11D 7/06 ,  C11D 7/10 ,  C11D 17/08

FI (6件)：

B08B 1/00 ,  B08B 3/02 Z ,  B08B 3/08 Z ,  C11D 7/06 ,  C11D 7/10 ,  C11D 17/08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プローブカード用プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装置とそれに用いる洗浄液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-107967   出願人：三菱電機株式会社